实验大厅内,一台崭新的极紫外光源装置正安静伫立,像一头沉睡的巨兽。厚重的铅玻璃隔离墙后,数十名研究员屏住呼吸,死死盯着监控屏。
“开始点火。”
随着指令落下,装置内部的高能脉冲闪烁,液态锡靶被击中,刹那间爆出一抹耀眼光弧。
“能量读数……过高!稳定性下降!”
“等离子体偏移,输出波长出现漂移!”
警报声骤然拉响,实验室内灯光瞬间转为红色。不到两秒,光弧便像被狂风吹散的火苗一样摇晃、扭曲,最后轰然熄灭。
“又失败了!”
“寿命不到0.8秒,根本无法维持!”
有人泄气地瘫倒在椅子上,声音嘶哑。
这已是他们连续第七次点火实验。光源要么过早熄灭,要么能量暴走,始终无法稳定。大家心里都清楚,如果解决不了这个问题,整个计划就会功亏一篑。
沉重的空气压得人快要窒息。就在此时,伍思辰走到主控台前,淡淡开口:“把刚才的能量曲线调出来。”
研究员立刻操作,屏幕上出现一条疯狂震荡的曲线。
伍思辰凝视片刻,眉头微皱:“问题不在等离子体,而在点火的‘引线’。”
“引线?”年轻研究员愣住了。
伍思辰手指在屏幕上飞快地圈出几个点:“你们现在的点火方式,是单级脉冲直击锡靶,能量瞬间爆发过猛,导致等离子体紊乱。换句话说,你们是在让它‘一下子燃尽’,而不是‘慢慢燃烧’。”
他顿了顿,目光锋锐:“解决办法很简单——加一道前级柔性脉冲,让锡靶先进入半激发态,再用主脉冲引爆。双级点火,就能把光源稳住!”
全场一震!
一位物理学专家猛地起身,眼睛放光:“对啊!这就是软引燃!先给靶心一个温和的预热,再叠加主脉冲,就像点燃火药前先打底火!”
“快,马上修改程序!”
研究员们立刻行动,飞快地调整参数,将原本单一的高能脉冲拆分成前后两级。
“点火倒计时,三、二、一!”
再次启动的瞬间,液态锡靶被柔性脉冲轻轻激发,闪烁出稳定的辉光。紧接着,主脉冲轰然击下,光弧瞬间膨胀,但这一次,它并没有紊乱,而是像被无形之手固定在空中,燃烧得均匀而持久。
“能量稳定!”
“寿命突破5秒……10秒……20秒!”
监控屏上的曲线几乎稳如直线,实验室里爆发出压抑不住的惊呼声。有人激动地捂住嘴,有人红着眼喊出声:“成功了!真的稳住了!”
伍思辰看着那道持续燃烧的光弧,眼神如刀锋般锐利。他声音不大,却震得每个人心头发烫:
“记住,这只是第一步。但今天,你们证明了——别人说不可能的,我们照样能做到。”
全场爆发出山呼海啸般的掌声与欢呼,科研人员们激动得几乎落泪。那一刻,压在心头的阴霾被彻底击碎。
他们知道,大夏的光刻机,真正点燃了!
光源实验的成功,让团队士气大振,但所有人都清楚:这只是光刻机的一只翅膀。真正能否飞起来,还要看另一只——高精度反射镜。
没有足够稳定的反射率,就无法把极紫外光束精准聚焦到纳米级的晶圆上。前期使用的钼硅多层镜,寿命不过几次点火,便被烧成了黝黑的废片。
于是,所有的希望都压在伍思辰提出的“碳纳米管复合镀层”上。
第一次实验
厚厚的防护罩后,镀层完成的第一片反射镜缓缓送入光源通道。控制台内,研究员们屏住呼吸。
光源点火!极紫外光束喷薄而出,打在镜面上。
最初的几秒,监测曲线平稳,反射率高达72%。全场振奋。
可还没等人欢呼,监控画面陡然闪烁,镜片边缘骤然龟裂,像蛛网一样瞬间蔓延。
“裂了!”
轰的一声,实验舱内的警报响起,反射率数据直线坠落。那片来之不易的试片,就这样报废。
所有人神色惨白,仿佛被泼了一盆冷水。
第二次实验
伍思辰没有说话,只是让材料组重新调配工艺。
这一次,他们在碳纳米管镀层下增加了合金缓冲层。
新镜片缓缓进入光源舱,点火!
光弧稳定燃烧,反射率保持在70%以上,整整一分钟,众人屏住呼吸,仿佛时间都停止了。
然而,伴随一声刺耳的噼啪,镜片表面骤然出现一圈焦痕,紧接着大片镀层剥落,仿佛碎雪般坠落在底部收集槽。
“还是不行……热冲击太强,缓冲层没撑住。”
年轻工程师几乎要哭出来。
第三次实验
会议室里,气氛压抑到极点。有人低声叹息:“难道我们真的走错了方向?”
伍思辰猛地一拍桌子,声音冷厉:“走错?不!我们只是还没走到终点!”
他在白板上飞快写下几个公式,随后圈出关键点:“问题不是材料不够强,而是温度控制!我们要做的,不是硬扛,而是——降温!”
他的手指指向实验舱的冷却结构:“把超导冷却模块提上日程,把碳纳米管镀层和冷却系统结合。只要温度在可控区间,镀层寿命能提升数十倍!”
研究员们恍然大悟,立刻分组改造。
第四次实验
第三片反射镜被送入光源舱,这一次,背后嵌入了银白色的超导冷却回路。
“点火!”
耀眼的光弧喷薄,打在镜面上。
监测曲线抬升——71%、72%、72.5%!稳定!
十秒、三十秒、一分钟……镜面依旧晶莹如新,没有裂痕,没有烧蚀!
“继续观察!”
两分钟、三分钟,实验室里鸦雀无声,只有机器的嗡鸣与屏幕的心跳般跳动。
直到第五分钟,反射率依旧稳定在70%以上!
“成功了!”
这一刻,所有人几乎是同时站起,爆发出压抑不住的欢呼。有人红了眼眶,有人抱头大笑,更有人直接扑在同伴肩膀上哭了出来。
伍思辰只是微微一笑,站在那片稳定燃烧的光弧前,语气坚定如铁:“记住,今天我们不仅造出了镜子,更造出了大夏的脊梁。”