6月1日上午,楚千澜刚驱车驶入深蓝半导体厂区,就看到沈院士的车队正缓缓停靠在办公楼前。
沈国梁穿着灰色中山装,在几名技术人员的簇拥下走向厂区,目光扫过正在运转的设备时,带着审视与期待。
王世杰早已等候在门口,见楚千澜下车,连忙迎上来:“楚总,沈院士团队已经到了,我们按您的要求,把试生产数据和设备运行流程整理成可视化报告,女娲系统的操作环节全部做了脱敏处理。”
楚千澜颔首,与王世杰一同走向沈国梁:“沈院士,欢迎您来指导。180nm产线刚完成联机调试,今天正好能展示完整的试生产流程。”
沈国梁握着楚千澜的手,语气带着几分感慨:“深蓝半导体能在这么短时间内搭建起180nm制程生产线,实属不易。”
一行人在寒暄中,穿过洁净室走廊。片刻之后,蓝色防护服将所有人裹得严严实实,只有眼睛露在观察窗旁。
光刻区内,机械臂正精准地将硅片送入光刻机,操作屏幕上跳动的种种数据,在昏暗环境中格外醒目。
“光刻机现在生产的是电源管理芯片!”王世杰指着屏幕,“该芯片由星源探索研发,最终会应用在繁星科旗下消费电子产品上。”
沈国梁俯身靠近观察窗,盯着光刻机的精密工作台:“这台193nm深紫外光刻机的定位精度控制得不错,工作台的水平振动误差能压到多少?”
张北光上前一步,语气带着几分自得:“通过激光干涉仪校准后,水平振动误差稳定在±0.008微米,完全满足180nm制程要求。我们还在工作台底部加装了减震装置,进一步降低设备运行时的共振影响。”
沈国梁眼中闪过一丝赞许:“细节做得很到位。电源管理芯片的良率目标定在多少?试生产过程中有没有遇到工艺瓶颈?”
楚千澜接过王世杰递来的测试报告,递到沈国梁面前:“初期良率目标是90%,目前第一批芯片的测试结果已经出来,良品率达到92%,超出预期。
待到稳定生产一段时间后,还需要对设备进一步调整,继续提高良品率!”
沈国梁目光扫过报告中的参数,脸上满是欣慰:“92%的试产良品率,已经接近行业平均水平!你们不仅搭建起产线,还能在短时间内把工艺精度控制到这个程度,确实下了苦功。”
半个小时后,视察接近尾声,所有人都走出生产区,来到办公楼的会议室。
沈国梁忽然问道,“楚总,你们生产线已经完成调试,订单准备的如何,能让产线满负荷运转吗?”
楚千澜坐在会议桌主位,缓缓开口:“沈院士说笑了,我们深蓝半导体刚成立半年,怎么可能有那么多订单,
到目前为止,深蓝半导体只有生产电源管理芯片一个订单,其利润能勉强能维持公司运转。
好在我们深蓝半导体的近期目标并非盈利,而是配合星源探索验证新研发的芯片,并不需要大量订单支撑。”
深蓝半导体的芯片生产线,每月的产量大概是3万片8英寸晶圆,按照电源管理芯片的面积,一片晶圆能切割1600枚左右合格芯片。
繁星科技现在每个月大概需要120万颗电源管理芯片,深蓝半导体生产750片晶圆就可以满足需求。
也就是说,深蓝半导体每个月生产一天,就能完成现有的电源管理芯片订单。
沈国梁闻言,目光中带着几分了然。他可是知道,楚千澜正在开发新的指令集以及EdA工具。
这深蓝半导体,其实就是一个试验场,通过新指令集与EdA工具开发出来的芯片,就会在此处得到验证。
他略作沉吟,随即开口,“以验证技术为核心目标,这个定位很清晰。半导体产业本就是长期投入,短期内不追求盈利也属正常。
不过,产线长期低负荷运转,会导致设备精度下降,还会影响工程师的操作熟练度,这反而不利于技术验证。”
沈国梁说到这里顿了一下,沉吟片刻后才继续说道,“我回去后,会给你们联系几家芯片设计公司,他们以前研发出来的芯片都是拿到国外流片生产,放到你们这里也是一样的。”
楚千澜闻言,眼中闪过一丝惊喜,随即起身致谢:“若能有沈院士牵线,不仅能让产线保持合理负荷,还能帮我们积累不同类型芯片的生产经验,真是解了我们的燃眉之急!”
沈国梁笑着摆手:“不用客气,都是为了半导体国产化。我推荐的几家公司,主打低功耗物联网芯片和工业控制芯片,工艺要求与180nm制程匹配,你们调整参数应该很快就能适配。
后续若是在芯片设计、流片测试上遇到技术难题,也可以随时找我协调资源。”
王世杰起身应道:“沈院士,我们有成熟的团队,你说的这些芯片,只需调整光刻胶涂覆厚度和离子注入剂量,一周内就能流片生产。我们的设备不弱,国外厂商能做到的,我们也能做到。”
半个小时后,考察结束,沈国梁准备带队离开,忽然注意到生产楼下转运的设备。“你们不是已经完成调试了吗,怎么还有设备入场啊!”
楚千澜闻言,也看向了王世杰,他对此也是一无所知。
王世杰只是看了一眼窗外,便开口解释,“那是一套250纳米制程的光刻机。我们公司将其买回来,是准备拆解研究。未来,我们还准备购买更先进的光刻机进行研究。”
沈国梁顺着王世杰的目光望向生产楼下的设备,眼中闪过一丝惊讶,随即化为浓厚的兴趣。
“250nm光刻机拆解研究?这个思路很有远见!虽然这一制程已不是主流,但对掌握光刻机核心结构、积累自主研发经验来说,是绝佳的‘练手对象’。”
送走沈国梁一行人后,楚千澜立即召集王世杰、张北光等人召开专题会议,将拆解研究的任务细化落实。