玉龙按照悟空的指示，将气体放电腔与各种设备连接好，然后启动电源。随着气体缓缓注入腔内，电流逐渐增大，腔内开始发出微弱的光芒。
“电流再增大一些，注意观察波长的变化。”悟空说道。
玉龙慢慢调整电流，光芒越来越亮，当电流达到一个特定值时，光谱分析仪显示出光源的波长稳定在 193 纳米左右。
“成功了，悟空！我们成功制造出了符合要求的光源系统的关键部分！”玉龙兴奋地喊道。
“这只是第一步，接下来我们还要制造机械运动系统和光学系统，但这是一个良好的开端。”悟空说道。
“没错，这确实是个好开端。接下来的机械运动系统，其精度要求极高，容不得半点马虎。”悟空一边说着，一边在虚拟屏幕上展示出机械运动系统的详细设计图。
玉龙仔细端详着设计图，目光紧锁在导轨和丝杆传动系统的部分：“悟空，从这设计来看，导轨和丝杆的制造是关键，可我们目前的材料和工艺，要达到微米级别的精度，难度不小。”
“确实如此，不过我们可以尝试使用新型合金材料。这种合金由铁、镍、铬按 7:2:1 的比例熔炼而成，经过特殊的热处理工艺，能大幅提高材料的硬度和耐磨性，有助于满足高精度的要求。”悟空分析道。
玉龙立刻来到自动化操作台，按照悟空提供的材料比例和工艺参数，开始准备制造导轨和丝杆的材料。
自动化熔炉启动，将各种金属原料按照精确的比例投入其中。
随着温度的升高，金属逐渐融化、融合，熔炉内光芒闪烁。
“注意控制熔炉温度，在熔炼过程中，温度要保持在 1500 摄氏度左右，波动不能超过 ± 5 摄氏度，否则会影响合金的性能。”悟空时刻关注着数据，提醒玉龙。
玉龙紧紧盯着温度显示屏，微调着熔炉的功率，确保温度稳定。经过数小时的熔炼，新型合金材料制作完成。
接下来，便是利用自动化加工设备制造导轨和丝杆。机械臂精准地抓取合金材料，开始切割、打磨、塑形。每一个动作都严格按照程序设定的参数进行，金属碎屑在加工区域飞溅。
在打磨导轨时，要使用高精度的磨具，磨具的粒度需达到 2000 目，这样才能保证导轨表面的粗糙度达到微米级别。”悟空说道。
玉龙操控着自动化设备，小心翼翼地调整磨具参数，启动打磨程序。
机器发出均匀而低沉的嗡嗡声，导轨在磨具的作用下，表面逐渐变得光滑如镜。
经过长时间的精细打磨，导轨的直线度误差成功控制在微米级别以内。
紧接着，开始制造丝杆。
丝杆的螺距精度要求更为苛刻，玉龙和悟空不敢有丝毫懈怠。
自动化设备通过精密的数控加工技术，对丝杆进行一道道工序的处理。
在加工过程中，悟空不断根据实时监测的数据，指导玉龙对设备参数进行微调。
“丝杆的螺纹角度偏差要控制在 0.01 度以内，现在这个数值接近临界值了，稍微调整一下刀具的进给量。”悟空说道。
玉龙迅速做出反应，精准地调整了刀具的进给量，确保丝杆的加工精度。
经过无数次的精细操作，丝杆终于制造完成，螺距精度达到了令人满意的标准。
接下来是安装高精度传感器。
玉龙在悟空的指导下，将传感器小心翼翼地安装在工作台的关键位置。
这些传感器如同机械运动系统的“眼睛”，能够实时监测工作台的位置变化。
“安装完成后，进行传感器的校准。校准过程中，要使用标准的位移量进行测试，确保传感器的测量误差在 ± 0.1 微米以内。”悟空说道。
玉龙按照要求，使用标准位移量对传感器进行校准。
经过反复测试和调整，传感器的测量误差成功控制在规定范围内。
机械运动系统初步完成后，玉龙和悟空对其进行了全面的测试。
工作台在导轨上平稳地移动，位置精度完全符合设计要求，传感器实时准确地反馈着工作台的位置信息。
“机械运动系统这一步算是成功了，接下来就是更为复杂的光学系统。光学镜片的制造对我们来说是个巨大的挑战。”玉龙说道。
“没错，尤其是物镜。我们要先准备好氟化钙晶体材料，这种晶体的生长需要特定的环境。我们需要搭建一个晶体生长炉，炉内的温度要控制在 1200 摄氏度左右，并且要保持温度的均匀性，温度波动不能超过 ± 1 摄氏度。同时，还要控制炉内的气压和气体成分，为晶体生长提供稳定的环境。”悟空说道。
玉龙立刻着手搭建晶体生长炉。
他利用自动化操作台，制造出了生长炉的主体结构，然后安装了高精度的温度、气压控制设备。
经过一番调试，晶体生长炉准备就绪。
玉龙将准备好的原料放入生长炉中，启动设备。
生长炉开始工作，内部温度逐渐升高，稳定在 1200 摄氏度。
在接下来的数天里，玉龙和悟空密切关注着晶体的生长情况。
“目前晶体生长状态良好，注意观察晶体的形态，确保没有缺陷。”悟空说道。
经过漫长的等待，一块高质量的氟化钙晶体终于生长完成。
玉龙将晶体取出，看着这块晶莹剔透的晶体，心中充满了期待。
接下来，便是对晶体进行研磨和抛光。
这是一项极其精细的工作，需要使用专门的光学研磨设备。
玉龙在悟空的指导下，调整研磨设备的参数，开始对晶体进行研磨。
“研磨过程中，压力要均匀分布，并且要不断调整研磨的方向，以保证镜片表面的精度。每研磨一段时间，就要进行一次测量，确保表面精度达到纳米级别。”悟空说道。
玉龙全神贯注地操作着设备，经过无数次的研磨和测量，镜片的表面精度逐渐达到了要求。然后，进行抛光处理，使镜片的表面更加光滑，透光率更高。
经过艰苦的努力，物镜终于制造完成。玉龙将物镜安装到光学系统的实验装置中，与其他光学元件进行组合调试。
“现在进行光学系统的整体调试，要通过精确的光学测量设备，对光线的传播路径、聚焦情况进行监测和调整。”悟空说道。
玉龙和悟空在实验室里忙碌了数天，对光学系统进行了反复的调试和优化。
最终，光学系统达到了预期的性能指标，光线能够准确地聚焦和传播，像差和误差都控制在极小的范围内。
“我们成功了，悟空！光刻机的三大关键系统都初步完成了！”玉龙兴奋地说道。
“这是一个了不起的成就，但我们还需要对整个光刻机进行整合和全面测试，确保各个系统之间能够协同工作，达到最佳的性能。”悟空说道。
玉龙点点头，充满信心地投入到下一步的工作中。
他知道，距离成功制造出光刻机还有一段路要走，但每一次的突破都让他更加坚信，清风寨在科技发展的道路上必将越走越远，创造出属于自己的辉煌 。
玉龙深吸一口气，抖擞精神，开始着手将各个系统整合到光刻机的整体架构中。
自动化操作台的机械臂在他的操控下，精准地将光源系统、机械运动系统和光学系统的各个部件一一就位，进行细致的连接与固定。