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林语靠在椅子上,双手抱肩,继续说道

“我刚刚所说的是第一组的科研方向,现在我来说说第二组的科研方向。”

在座的众人再次被震惊,因为老板刚刚提出的方案都是闻所未闻的,而此刻老板竟然还要提出新的方案,这多少让他们有些难以置信,但同时也对这个新老板佩服的五体投地。

“第二种叫做固态dUV(深紫外)激光。”

刘成林和王乾伟两人的心砰砰的乱跳着,因为现在的主流设计方向是干式光刻机,老板刚刚提出了给沉浸式光刻机理念,而现在又提出一种更加没有听说过的固态dUV(深紫外)激光,这些概念都是谁想出来的呢?而老板又是怎么获得的。

以他们对市场现状的了解,目前这种概念还从来没有出现过。

只听林语扫视了一眼众人,说道

“别光顾着惊讶,记下来。”

刘成林和王乾伟低下了头,准备好了记录。

“固态dUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光。”

刘成林就像是学生一样,这次他没有直接发问,而是举起了手。

“刘主任,你说。”林语看到后直接说道。

“老板,什么是相干光?”刘成林询问道。

“具体的我也不是很清楚,但是我可以给你们一个大概,你们按照这种方式去做科研,我相信你们”

“老板您说。”

“可以采用氟化氙(ArF)准分子激光技术,通过氩、氟气体的混合物在高压电场下生成不稳定分子,释放出193nm波长的光子,然后以高能量的短脉冲形式发射,频率在8k-9khz,这是一种方式。”

“老板,什么意思?还有另外一种方式吗?”刘成林已经被惊到了。

林语点了点头,笑着说道

“还有一种,是完全基于固态设计,由制造的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光,在通过两条不同的光学路径进行波长转换。一路采用四次谐波转换,将1030nm激光转换为258nm。另一路径采用光学参数放大,将1030nm激光转换为1553nm。之后,转换后的两路激光通过串级硼酸锂晶体混合,生成193nm波长的激光光束。”

林语喝了一口水,然后继续说道

“这种光刻机可以大幅降低光刻系统的复杂度、体积,减少对于稀有气体的依赖,并大大降低能耗。当然了,不是说这种研究方向就一定是最佳的选择,科研的路有很多种,我们只有做了尝试,才知道哪条路是正确的。所以两组全都要拿出十二分精神,努力的做科研,争取研发成功。”

刘成林和和王乾伟皱着眉记录着,他们在脑海中反复想着老板说的这两种方向,虽然没有实践,但是他们觉得全都是可行的。尤其老板说的这么详细,虽然只是大概的研究方向,但是连具体的数据都有。他们不清楚,老板是怎么知道的,但是他们知道,在老板的背后,肯定有一个很专业的团队,不然是说不出这么详细的。

此刻他们激动的竟然有些颤抖,因为他们做了二十多年的研究,走了不知多少弯路,尤其现在想要跟随光刻机巨头的步伐做科研,而此刻他们找到了新的方向,能够弯道超车的机会,而且不是一条。

他们知道,扬眉吐气的日子不远了。

“老板放心,我们两组全都会努力的。”

“嗯。”林语点了点头,“我相信你们,在这里我再说一下,如果在做研究的时候发现新的方案,也是可以另外成立一个小组,进行研究的,当然了,这些小组也属于你们两组的分支机构,归属于你们管理,只要提出方案,探讨后觉得合理,就可以研究,我不怕你们多做尝试,哪怕失败了,也能通过走错的路学到新的知识,也能验证一些正确的方案。所以大胆的去做,我这边不会因为分出去的科研而责怪你们的。”

刘成林和和王乾伟听到后还是很感动的,因为老板不但给他们大力的支持,而且还很有宽容心,还给他们很多尝错的机会,这样的老板真的是太少见了。

他们已经暗自下定决心,一定要将光刻机研究成功,因为这可能是他们唯一成功的机会了,如果失败,这辈子不可能再遇到这样的老板,而且也不会拿到这么多科研经费以及招募人才的钱了。

“老......老板,你说的这些都......都是怎么知道的?”刘成林激动的说道。

“怎么知道的你就不用管了,你们按照我说的去做科研,你们两个研究着怎么分组,怎么确定研究方向,然后进行研究,我提供无限的资金支持,就是想要在最短的时间内能够看到成品,所以你们要加把劲努力。”

“老板放心,您都把方向给我们了,如果我们还不能拿出成果,那肯定是对不起您的。”

“时间就是金钱,你们记住,国际竞争是很激烈的,尤其我们的起步还比较晚,但是我可以明确的告诉你们,第一台沉浸式光刻机在06年就会推出来,所以你们还有很长的路要走。”

刘成林被惊到了,他显然没想到,最快的沉浸式光刻机竟然在06年被研制成功,看来有些公司从02年开始就着手做沉浸式光刻机的研发了,因为那时候发明沉浸式深紫光的专家到处游说,让人接受他的技术,显然是有企业相信他并且付诸行动的。

刘成林很是好奇,老板是怎么知道有公司研究出了沉浸式光刻机,难不成他在那家公司有内应?这是有可能的,毕竟老板刚刚说的技术也可能是内应告诉他的。

想到这刘成林眉头皱了一下,因为哪怕从老板那得知了沉浸式光刻机可能会成功过,但是他们从现在开始研究,肯定也是追赶不上的,毕竟对方可能从02年就开始研发了。

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